LVC414 ASM Sıvı Buhar Buharlaştırıcı Kontrol Cihazı LVC 414

LVC414 ASM Sıvı Buhar Buharlaştırıcı Kontrol Cihazı LVC 414

Ürün Detayları

Elektronik Buharlaştırıcı kontrolörü LVC-414 doğru bir şekilde ölçmek ve kontrol etmek için tasarlanmıştır

Doping malzemelerinin kütle akış hızı (gram / dakika), taşıyıcı gaz akışını bir

kaynak malzemeyi içeren fıskiye.

Source materials include SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 and BBr3. Kaynak malzemeler arasında SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 ve BBr3 bulunur. Other doping material can Diğer katkı malzemeleri

ayrıca doğru kontrol için yeterli konsantrasyonda buharlaşmaları koşuluyla da kontrol edilebilir

ratiodetection. ratiodetection. Carrier gases include H2, He, N2, O2 and Ar. Taşıyıcı gazlar arasında H2, He, N2, O2 ve Ar yer alır.

Üç çıkış sağlanır:

Kaynak (0 ila + 5VDC).

Taşıyıcı (0 ila + 5VDC)

Oran (0 ila + 5VDC).

Bu çıkışlar 1000 hassasiyetle herhangi bir 5 volt DC voltmetre ile izlenebilir

ohms/volt or more. ohm / volt veya daha fazla. A built-in valve varies the carrier mass flow rate to control the source Dahili bir valf, kaynağı kontrol etmek için taşıyıcı kütle akış hızını değiştirir

gram/min. gram / dakika. selected by an external control voltage. harici bir kontrol voltajı ile seçilir.

Tek bir küçük paket akış ölçer bölümünü, oran detektörünü, kontrol vanasını ve

elektronik

ÖZELLİKLER

MİNİMUM TAŞIYICI GAZ AKIŞI: maksimum% 5

MAXIMUM SOURCE FLOW: Up to 40 grams/min. MAKSİMUM KAYNAK AKIŞI: 40 gram / dk'ya kadar. full scale tam ölçek

ÇALIŞMA BASINCI ARALIĞI: 10-40 psi diferansiyel

MAKSİMUM GAZ BASINCI: 60 psig

GAZ VE ORTAM SICAKLIĞI ARALIĞI: Özel istek üzerine 15-35 ° C'ye kadar 60-90 ° F

YANIT: 10 saniye - ayar noktasının% 4'ü içinde

TAŞIYICI GAZLAR: Hidrojen, Helyum, Azot, Oksijen veya Argon,, Karışık gaz

Tekrarlanabilirlik: Tam skalanın ±% 0,5'i

BASINÇ DUYARLILIĞI: 10 ila 40 psid basınçlar için tam skalanın ±% 0,25'i

DOĞRULUK VE LİNEERLİK: Tüm çalışma aralığında tam ölçeğin ±% 4,0'ı

KOMUT AYARI: 0,1 - 5 vdc

ÇIKTI GÖSTERGESİ:

1. KAYNAK: buharlaştırılmış sıvının kütle akış hızı ile doğrusal orantılı 0.1-5 vdc

2. TAŞIYICI: 0,1-5 vdc taşıyıcı gazın kütle akış oranıyla doğrusal orantılı

3. ORAN: Buhar akışının (SCCM) taşıyıcı akış oranına doğrusal olarak orantılı olarak 0.1-5 vdc

(SCCM) 5 vdc ile ölçeklendirilmiş =% 50

ÇIKIŞ EMPEDANSI: maksimum 10 ohm

RIPPLE: Maksimum 50 mv pp

Bize Ulaşın

miya@mvme.cn(Tıklayın)

E-posta: miya@mvme.cn

QQ: 2851195450

Tel: 86-18020776792

Skype: miyazheng52